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    KAGATECHNO石英在線加熱器：半導(dǎo)體藥液循環(huán)

    發(fā)布時(shí)間： 2026-02-06　　點(diǎn)擊次數(shù)： 99次
    1. 產(chǎn)品定位日本加賀テクノ（KAGATECHNO）石英在線加熱器，專為半導(dǎo)體濕法工藝中藥液循環(huán)加熱設(shè)計(jì)，適用于氨水過(guò)氧化物（SC-1）、磷酸等腐蝕性藥液，應(yīng)用于氮化硅刻蝕及擴(kuò)散前清洗工序。
    2. 核心技術(shù)
    • Inconel網(wǎng)目發(fā)熱體：鎳鉻鐵合金直接熔接于石英筒外壁，耐腐蝕、抗空燒，解決傳統(tǒng)繞線加熱器斷線及氣囊積聚導(dǎo)致的局部過(guò)熱問(wèn)題
    • 石英雙重管結(jié)構(gòu)：內(nèi)管走藥液（零金屬污染），外管包裹發(fā)熱體，即使外管破損也不污染藥液
    • 阻燃FRPP外殼：內(nèi)置溫度監(jiān)測(cè)，過(guò)熱自動(dòng)保護(hù)
    3. 關(guān)鍵參數(shù)
    指標(biāo)參數(shù)
    功率2.2/4.4/6.5kW
    電壓單相200V
    溫度室溫～160℃
    適用藥液SC-1、磷酸
    接頭3/4英寸石英法蘭
    4. 應(yīng)用價(jià)值直通式結(jié)構(gòu)無(wú)液滯留，在線串聯(lián)于循環(huán)回路實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)溫控。相比投浸式加熱器，支持不停機(jī)維護(hù)，熱響應(yīng)更快，是RCA清洗及氮化硅刻蝕等關(guān)鍵工序的高可靠性加熱解決方案。


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